德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 納米定位器 壓電納米定位系統(tǒng) P-616.3C

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 納米定位器 壓電納米定位系統(tǒng) P-616.3C

主動(dòng)軸：X、Y、Z

-20至120伏時(shí)的開環(huán)行程：110/軸微米

行程，閉環(huán)：100/軸微米

分辨率，1s，開環(huán)：0.3納米

分辨率，1s，閉環(huán)：0.4納米

線性誤差：0.03%

雙向重復(fù)精度，1s，10%行程范圍內(nèi)：<10納米

雙向重復(fù)精度，1s，行程范圍內(nèi)：<15納米

應(yīng)用領(lǐng)域：

光纖定位和對準(zhǔn)

掃描顯微鏡

雙光子聚合

納米技術(shù)和納米制造

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操縱

樣本定位

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：P-616.3C

主動(dòng)軸：X、Y、Z

-20至120伏時(shí)的開環(huán)行程：110/軸微米

行程，閉環(huán)：100/軸微米

分辨率，1s，開環(huán)：0.3納米

分辨率，1s，閉環(huán)：0.4納米

線性誤差：0.03%

雙向重復(fù)精度，1s，10%行程范圍內(nèi)：<10納米

雙向重復(fù)精度，1s，行程范圍內(nèi)：<15納米

傳感器類型：電容式傳感器

剛度：0.5牛/微米

X/Y/Z向上的空載諧振頻率：700赫茲

帶38克負(fù)載的諧振頻率X/Y/Z：380赫茲

帶100克負(fù)載的諧振頻率X/Y/Z：250赫茲

推/拉力大小：15牛

允許轉(zhuǎn)矩：0.4牛米

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 納米定位器 壓電納米定位系統(tǒng) P-616.3C